METHOD FOR CALCULATING TEMPERATURE

To provide a method for calculating the temperature of, for example, a vacuum pump, especially a turbo molecular pump, by using an IR sensor system.SOLUTION: The method includes: measuring a first temperature Tobs,1 at a measurement position; generating a reference temperature Tref in a reference po...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ADRIAN WIRTH, JUERGEN WISSNER, JOHANNES SCHNARR
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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