CONVEYANCE SYSTEM, CONVEYANCE METHOD, DEVICE MANUFACTURING APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

To prevent a positional deviation of a processing body at the time of movement of a conveyance robot.SOLUTION: A device manufacturing apparatus includes a conveyance system including: a conveyance robot 14 for conveying a processing body (mask M) loaded on a robot hand part 24; a control unit for controlling a conveyance motion of the conveyance robot; and detection means 30 for detecting the existence of a positional deviation of the processing body on the robot hand part on a conveyance path for the processing body. The conveyance motion includes: a first motion of moving the robot hand part to a position facing a carrying-in opening part 11a of a carrying-in destination chamber in a state in which the processing body is loaded on the robot hand part; and a second motion of straightly advancing robot hand part from the position facing the carrying-in opening part toward the carrying-in opening part to advance the robot hand part into the carrying-in destination chamber. The control unit controls the conveyance robot so as to perform the second motion when it is determined by the detection means that no positional deviation of the processing body on the robot hand part exists at the position facing the carrying-in opening part of the carrying-in destination chamber.SELECTED DRAWING: Figure 6A 【課題】搬送ロボットの移動の際に処理体の位置すれを防止する。【解決手段】デバイス製造装置の搬送システムにおいて、ロボットハンド部２４上に処理体（マスクＭ）を載置して搬送する搬送ロボット１４と、搬送ロボットの搬送動作を制御する制御部と、処理体の搬送経路において、ロボットハンド部上での処理体の位置ずれの有無を検知する検知手段３０とを有する。搬送動作は、ロボットハンド部上に処理体を載置した状態でロボットハンド部を搬入先チャンバーの搬入開口部１１ａに対向する位置まで移動させる第１動作と、ロボットハンド部を搬入開口部に対向する位置から搬入開口部に向かって直進移動させ搬入先チャンバー内に進入させる第２動作を含む。制御部は、搬入先チャンバーの搬入開口部に対向する位置において、検知手段によりロボットハンド部上での処理体の位置ずれがないと判定されたときに第２動作を行うように、搬送ロボットを制御する。【選択図】図６Ａ