MAINTENANCE DEVICE AND MAINTENANCE METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

To provide a maintenance device of a substrate processing apparatus capable of preventing maintenance operation from being instructed incorrectly for a substrate processing apparatus that is not a maintenance object, while improving convenience of maintenance.SOLUTION: In one authentication device 40, authentication information is acquired from a storage medium 30 by short-range radio communication. A determination is made whether or not the authentication information corresponds to one substrate processing apparatus provided with the authentication device 40. When the authentication information corresponds to one substrate processing apparatus, access information is transmitted from an authentication device 20 by short-range radio communication. An instruction terminal 2 receives the access information by short-range radio communication. When the instruction terminal 2 accesses a maintenance instruction device 50 on the basis of the access information, a maintenance screen is displayed in a display 2f of the instruction terminal 2. The instruction terminal 2 has an operation part operated by a user for instructing the maintenance operation.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることを防止することが可能でかつメンテナンスの利便性が向上された基板処理装置のメンテナンス装置を提供することである。【解決手段】一の認証装置４０において近距離無線通信により記憶媒体３０から認証情報が取得される。認証情報が当該認証装置４０が設けられた一の基板処理装置に対応するか否かが判定される。認証情報４０が一の基板処理装置に対応する場合、認証装置２０から近距離無線通信によりアクセス情報が送信される。指示端末２は、近距離無線通信によりアクセス情報を受信する。指示端末２がアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置５０にアクセスすることにより、当該指示端末２の表示部２ｆにメンテナンス画面が表示される。指示端末２は、メンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部を有する。【選択図】図１