VACUUM PUMP
To provide a vacuum pump capable of performing an operation of less abrasion of a component and less generation of noise with lower vibration behavior and higher operation safety.SOLUTION: A vacuum pump (10), in particular, a turbo molecular pump has a stator for at least one pump stage, and a rotor...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; jpn |
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| creator | STOLL TOBIAS JUNG JUERGEN DR |
| description | To provide a vacuum pump capable of performing an operation of less abrasion of a component and less generation of noise with lower vibration behavior and higher operation safety.SOLUTION: A vacuum pump (10), in particular, a turbo molecular pump has a stator for at least one pump stage, and a rotor (17) rotatably supported in the stator, and at least one supporting unit is disposed to support the rotor (17). In the vacuum pump (10), the supporting unit has a supporting portion (42), and at least one actuator (58, 60, 62, 68, 72) assigned to the supporting portion (42) and disposed to selectively change at least operation characteristic and/or operation attitude of the supporting portion (42).SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】本発明の課題は、より低い振動挙動と、これによりより高い運転安全性で、コンポーネントの摩耗が少なく、そしてノイズ発生の少ない運転が可能である真空ポンプを提供することである。【解決手段】課題は、真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段の為のステーターと、ステーター内に回転可能に支承されたローター（１７）を有し、その際ローター（１７）の支承の為、少なくとも一つの支承ユニットが設けられており、この支承ユニットは、支承部（４２）と支承部（４２）に割り当てられた、支承部（４２）の少なくとも作動特性、及び／又は作動姿勢の選択的な変更の為に設けられている少なくとも一つのアクチュエーター（５８，６０，６２，６８，７２）を有することを特徴とする真空ポンプ（１０）により解決される。【選択図】図１ |
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【課題】本発明の課題は、より低い振動挙動と、これによりより高い運転安全性で、コンポーネントの摩耗が少なく、そしてノイズ発生の少ない運転が可能である真空ポンプを提供することである。【解決手段】課題は、真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段の為のステーターと、ステーター内に回転可能に支承されたローター（１７）を有し、その際ローター（１７）の支承の為、少なくとも一つの支承ユニットが設けられており、この支承ユニットは、支承部（４２）と支承部（４２）に割り当てられた、支承部（４２）の少なくとも作動特性、及び／又は作動姿勢の選択的な変更の為に設けられている少なくとも一つのアクチュエーター（５８，６０，６２，６８，７２）を有することを特徴とする真空ポンプ（１０）により解決される。【選択図】図１</description><language>eng ; jpn</language><subject>BLASTING ; HEATING ; LIGHTING ; MECHANICAL ENGINEERING ; NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS ; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS ; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS ; WEAPONS</subject><creationdate>2019</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20190307&DB=EPODOC&CC=JP&NR=2019035408A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76290</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20190307&DB=EPODOC&CC=JP&NR=2019035408A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>STOLL TOBIAS</creatorcontrib><creatorcontrib>JUNG JUERGEN DR</creatorcontrib><title>VACUUM PUMP</title><description>To provide a vacuum pump capable of performing an operation of less abrasion of a component and less generation of noise with lower vibration behavior and higher operation safety.SOLUTION: A vacuum pump (10), in particular, a turbo molecular pump has a stator for at least one pump stage, and a rotor (17) rotatably supported in the stator, and at least one supporting unit is disposed to support the rotor (17). In the vacuum pump (10), the supporting unit has a supporting portion (42), and at least one actuator (58, 60, 62, 68, 72) assigned to the supporting portion (42) and disposed to selectively change at least operation characteristic and/or operation attitude of the supporting portion (42).SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】本発明の課題は、より低い振動挙動と、これによりより高い運転安全性で、コンポーネントの摩耗が少なく、そしてノイズ発生の少ない運転が可能である真空ポンプを提供することである。【解決手段】課題は、真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段の為のステーターと、ステーター内に回転可能に支承されたローター（１７）を有し、その際ローター（１７）の支承の為、少なくとも一つの支承ユニットが設けられており、この支承ユニットは、支承部（４２）と支承部（４２）に割り当てられた、支承部（４２）の少なくとも作動特性、及び／又は作動姿勢の選択的な変更の為に設けられている少なくとも一つのアクチュエーター（５８，６０，６２，６８，７２）を有することを特徴とする真空ポンプ（１０）により解決される。【選択図】図１</description><subject>BLASTING</subject><subject>HEATING</subject><subject>LIGHTING</subject><subject>MECHANICAL ENGINEERING</subject><subject>NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS</subject><subject>POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS</subject><subject>PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS</subject><subject>WEAPONS</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2019</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZOAOc3QODfVVCAj1DeBhYE1LzClO5YXS3AxKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfFeAUYGhpYGxqYmBhaOxkQpAgCvrhyZ</recordid><startdate>20190307</startdate><enddate>20190307</enddate><creator>STOLL TOBIAS</creator><creator>JUNG JUERGEN DR</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20190307</creationdate><title>VACUUM PUMP</title><author>STOLL TOBIAS ; JUNG JUERGEN DR</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_JP2019035408A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; jpn</language><creationdate>2019</creationdate><topic>BLASTING</topic><topic>HEATING</topic><topic>LIGHTING</topic><topic>MECHANICAL ENGINEERING</topic><topic>NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS</topic><topic>POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS</topic><topic>PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS</topic><topic>WEAPONS</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>STOLL TOBIAS</creatorcontrib><creatorcontrib>JUNG JUERGEN DR</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>STOLL TOBIAS</au><au>JUNG JUERGEN DR</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>VACUUM PUMP</title><date>2019-03-07</date><risdate>2019</risdate><abstract>To provide a vacuum pump capable of performing an operation of less abrasion of a component and less generation of noise with lower vibration behavior and higher operation safety.SOLUTION: A vacuum pump (10), in particular, a turbo molecular pump has a stator for at least one pump stage, and a rotor (17) rotatably supported in the stator, and at least one supporting unit is disposed to support the rotor (17). In the vacuum pump (10), the supporting unit has a supporting portion (42), and at least one actuator (58, 60, 62, 68, 72) assigned to the supporting portion (42) and disposed to selectively change at least operation characteristic and/or operation attitude of the supporting portion (42).SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】本発明の課題は、より低い振動挙動と、これによりより高い運転安全性で、コンポーネントの摩耗が少なく、そしてノイズ発生の少ない運転が可能である真空ポンプを提供することである。【解決手段】課題は、真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段の為のステーターと、ステーター内に回転可能に支承されたローター（１７）を有し、その際ローター（１７）の支承の為、少なくとも一つの支承ユニットが設けられており、この支承ユニットは、支承部（４２）と支承部（４２）に割り当てられた、支承部（４２）の少なくとも作動特性、及び／又は作動姿勢の選択的な変更の為に設けられている少なくとも一つのアクチュエーター（５８，６０，６２，６８，７２）を有することを特徴とする真空ポンプ（１０）により解決される。【選択図】図１</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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