GAS SENSOR

To provide a gas sensor capable of stably and reliably detecting a gas concentration even in a high temperature environment.SOLUTION: A gas sensor includes: an element unit 203_1 whose capacitance value changes in response to the gas concentration; an inductor 112 for forming a resonance circuit RSC together with the capacitance of the element unit; a phase detection circuit 114 for detecting the phase difference between the resonance frequency of the resonance circuit and a reference frequency; and a feedback unit for supplying, to the element unit, the voltage corresponding to the phase difference detected by the phase detection circuit. The capacitance value of the element unit is controlled by the voltage from the feedback unit so that the phase difference between the resonance frequency and the reference frequency decreases, a gas concentration detection output based on the phase difference is output.SELECTED DRAWING: Figure 6 【課題】高温環境においても、安定して、信頼性の高いガス濃度検知が可能なガスセンサを提供する。【解決手段】ガスセンサは、ガス濃度に従って容量値が変化するエレメント部２０３＿１と、エレメント部の容量とで共振回路ＲＳＣを形成するインダクタ１１２と、共振回路の共振周波数と基準周波数との位相差を検出する位相検出回路１１４と、位相検出回路によって検出された位相差に応じた電圧を、エレメント部に供給するフィードバック部を備える。共振周波数と基準周波数との間の位相差が減少するように、エレメント部の容量値がフィードバック部からの電圧によって制御され、位相差に基づいたガス濃度検知出力が出力される。【選択図】図６