LASER PROCESSING DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser processing device capable of detecting any damage of a protective member and quickly and properly coping with the damage.SOLUTION: A laser processing device comprises a laser oscillator 3, a laser emitting head 10 for emitting a laser beam, a motion mechanism unit 2 for relatively moving the laser irradiation head 10 and a workpiece, and a control unit 31 for controlling the laser oscillator 3 and the motion mechanism part 2. The laser irradiation head 10 comprises a housing 11 having an optical path 11a penetrating from one side to the other side, a condenser lens 16 for condensing the laser beam and radiating the laser beam from a nozzle port 15b of the housing 11, and a protective member 18 provided between the condenser lens 16 and the nozzle port 15b. Check gas is supplied from a check gas supply unit 20 via a supply passage 21 to an optical path 13a between the condenser lens 16 and the protective member 18, and a flow rate of the check gas circulating in the supply passage 21 is detected by a gas flowmeter 23. Any damage of the protective member 18 is detected by a damage detection unit based on a variation in the detected flow rate.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】保護部材の破損を検出でき、破損時に迅速，適切な対応が可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ発振器３、レーザ光を照射するレーザ照射ヘッド１０、レーザ照射ヘッド１０と被加工物とを相対移動させる運動機構部２、並びにレーザ発振器３及び運動機構部２を制御する制御部３１を備える。レーザ照射ヘッド１０は、一方から他方に貫通した光学路１１ａを有するハウジング１１、レーザ光を集光してハウジング１１のノズル口１５ｂから照射する集光レンズ１６、並びに集光レンズ１６とノズル口１５ｂとの間に設けた保護部材１８を備える。集光レンズ１６、保護部材１８間の光学路１３ａには、供給路２１を介してチェックガス供給部２０からチェックガスが供給され、供給路２１内を流通するチェックガスの流量がガス流量計２３により検出され、検出された流量の変動に基づいて、破損検出部により保護部材１８の破損が検出される。【選択図】図１