SENSOR HEAD, MEASURING SYSTEM, AND MEASURING METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve DC/low frequency characteristics of optical voltage sensor head.SOLUTION: A sensor head 330 includes an optical voltage sensor 340, and a voltage between signal input electrodes 342 and 344 thereof changes in response to an input signal from a device under test (DUT) 350. The optical voltage sensor 340 receives laser light from a light transmission part 324 in a controller 320 via an upstream light optical fibers 323, modulates it into an input signal, and outputs it to a main signal path 321. A built-in photodiode 338 monitors an optical output signal of the optical voltage sensor 340 to generate a monitor voltage Vpd. A correction unit 334 compares the monitor voltage Vpd with the input signal to generate an error signal according to a difference in the change therebetween. A bias control unit 332 controls a bias voltage between bias control electrodes 346 and 348 of the optical voltage sensor 340 so as to reduce the error signal.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】光電圧センサ・ヘッドのＤＣ／低周波数特性を改善する。【解決手段】センサ・ヘッド３３０には、光電圧センサ３４０があり、被試験デバイス（ＤＵＴ）３５０からの入力信号に応じて、その信号入力電極３４２及び３４４間の電圧が変化する。光電圧センサ３４０は、コントローラ３２０内の光送信部３２４からのレーザ光を上流光ファイバ３２３を介して受けて、入力信号に応じて変調し、メイン信号パス３２１へと出力する。組み込みの光ダイオード３３８は、光電圧センサ３４０の光出力信号をモニタして、モニタ電圧Ｖpdを生成する。補正ユニット３３４は、モニタ電圧Ｖpdと入力信号とを比較し、これらの間の変化の差に応じたエラー信号を生成する。バイアス制御ユニット３３２は、エラー信号を低減するように、光電圧センサ３４０のバイアス制御電極３４６及び３４８間のバイアス電圧を制御する。【選択図】図３