FLOW RATE CALIBRATION UNIT

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow rate calibration unit capable of calibrating a flow rate by replacing a plurality of gas integration units.SOLUTION: A flow rate calibration unit 1 calculates a volume V between flow rate control valves 125A-125C and a second isolation valve 105 by using a pre...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SHIROYAMA NAOYA, SUGINO AKIHITO, ITO MINORU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	MEASURING MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL METERING BY VOLUME PHYSICS TESTING
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