PRESSURE DETECTOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce change in detection sensitivity involved with temperature change in a pressure detector using a piezoelectric sheet.SOLUTION: In a pressure detector 100, a support substrate 1 has an input surface 1a subject to the action of pressures and a back surface 1b supporting...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce change in detection sensitivity involved with temperature change in a pressure detector using a piezoelectric sheet.SOLUTION: In a pressure detector 100, a support substrate 1 has an input surface 1a subject to the action of pressures and a back surface 1b supporting an edge part. A first piezoelectric sheet 3a is on the center of the back surface 1b, and a second piezoelectric sheet 3b is on the other side of the support substrate 1 different from the side for the first piezoelectric sheet 3a and is opposed to the first piezoelectric sheet 3a. A first detecting electrode 4a is on the other side of the first piezoelectric sheet 3a away from the side near the second piezoelectric sheet 3b. A second detecting electrode 4b is on the other side of the second piezoelectric sheet 3b away from the side near the first piezoelectric sheet 3a. An intermediate adhesive layer 8 is between the first piezoelectric sheet 3a and the second piezoelectric sheet 3b and has a coefficient of elasticity of 1 MPa or higher in the use temperature range.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】圧電シートを用いた圧力検出装置において、温度変化に伴う検出感度の変化を減らす。【解決手段】圧力検出装置100において、支持基板1は、圧力が作用する入力面1aと、縁部が支持される背面1bとを有する。第1圧電シート3aは、支持基板1の背面1bの中央部に配置されている。第2圧電シート3bは、第1圧電シート3aの支持基板1と反対側において、第1圧電シート3aに対向して配置されている。第1検出電極4aは、第1圧電シート3aの第2圧電シート3bと反対側に配置されている。第2検出電極4bは、第2圧電シート3bの第1圧電シート3aと反対側に配置されている。中間接着層8は、第1圧電シート3aと第2圧電シート3bとの間に配置され、使用温度範囲内で弾性係数が1MPa以上である。【選択図】図2 |
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