REGISTRATION OF CAD DATA WITH SEM IMAGE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the registration of CAD data with a SEM image.SOLUTION: A method for image processing includes providing a microscopic image of a structure fabricated on a substrate and computer-aided design (CAD) data used in fabricating the structure. The microscopic image is processed by a computer so as to generate a first directionality map, which includes, for a matrix of points in the microscopic image, respective directionality vectors corresponding to magnitudes and directions of edges at the points irrespective of a sign of the magnitudes of edges. The CAD data are processed by the computer so as to produce a simulated image based on the CAD data and to generate a second directionality map based on the simulated image. The first and second directionality maps are compared by the computer so as to register the microscopic image with the CAD data.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】ＣＡＤデータとＳＥＭ画像との位置合わせを提供すること。【解決手段】画像処理のための方法は、基板に製造された構造の顕微鏡画像と、構造を製造するときに使用された計算機援用設計（ＣＡＤ）データとを用意するステップを含む。顕微鏡画像は、顕微鏡画像中の点のマトリクスに対して、エッジの大きさの符号に関係なく点でのエッジの大きさおよび方向に対応するそれぞれの方向性ベクトルを含む第１の方向性マップを発生させるようにコンピュータによって処理される。ＣＡＤデータは、ＣＡＤデータに基づいてシミュレート画像を生成し、シミュレート画像に基づいて第２の方向性マップを発生させるようにコンピュータによって処理される。第１の方向性マップと第２の方向性マップとをコンピュータによって比較して、顕微鏡画像とＣＡＤデータとを位置合わせする。【選択図】図２