TOOL POSITION CORRECTION DEVICE OF GROOVE PROCESSING DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily adjust a tool position with high accuracy in a processing device for forming grooves in a thin film solar battery substrate.SOLUTION: The device provided in a groove processing tool including a groove processing tool and a camera for taking an image of a groove formed by the groove processing tool, includes; a position data storage section; a trial processing section; an image taking section; an error calculation section; and a correction value setting section. The position data storage section stores a camera position data and a tool position data related to the camera position data. The trial processing section performs trial processing on a processing indication position to a substrate. The image taking section moves the camera so as to cause the camera position to coincide with the processing indication position, and takes an image of a formed groove. The error calculation section calculates an error of a position of the tool based on the taken image. The correction value setting section sets the correction value to the tool position at groove processing time, based on a calculation result obtained in the error calculation section. 【課題】薄膜太陽電池基板に溝を形成する加工装置において、簡単にかつ精度よくツール位置を調整できるようにする。【解決手段】この装置は、溝加工ツールと、溝加工ツールによって形成された溝を撮像するカメラと、を有する溝加工装置に設けられ、位置データ格納部と、試し加工部と、撮像部と、誤差算出部と、補正値設定部と、を備えている。位置データ格納部は、カメラ位置データと、カメラ位置データに関連付けられたツール位置データと、を格納する。試し加工部は、基板に対して、加工指定位置に試し加工を行う。撮像部は、カメラ位置が加工指定位置に一致するようにカメラを移動させて、形成された溝を撮像する。誤差算出部は、撮像された画像に基づいて、ツールの位置の誤差を算出する。補正値設定部は、誤差算出部で得られた算出結果に基づいて、溝加工時におけるツール位置の補正値を設定する。【選択図】図２