IMPEDANCE ADJUSTMENT DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem wherein impedance matching using a characteristic parameter indicating a transmission characteristic of an entire impedance adjustment device cannot be performed if a variable frequency type high frequency power supply 1v is used.SOLUTION: An impedance adju...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SUITO MASAKATSU, SHIMOMOTO TAKASHI, ITAYA KOJI
Format: Patent
Sprache:eng
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