FLUIDIZED-BED REACTOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluidized-bed reactor capable of uniformly supplying enough heat for silicon deposition and flowing gas, capable of mass-producing a polycrystalline silicon, and easy to assemble, install, and maintain.SOLUTION: The fluidized-bed reactor includes a reaction tube, a...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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