INPRINTABLE MEDIUM DISPENSER

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imprintable medium dispenser used for imprint lithography and to provide a related method. SOLUTION: The imprintable medium dispenser includes a chamber, a nozzle, and an actuator connected to the chamber and configured to be actuated and thereby generate a pressu...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WUISTER SANDER FREDERIK, KRUIJT-STEGEMAN YVONNE WENDELA, DIJKSMAN JOHAN FREDERIK, PIERIK ANKE, VERNHOUT MARTIN MAURICE, SCHRAM IVAR
Format: Patent
Sprache:eng
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