CONVERGED ION BEAM DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a converged ion beam device provided with a liquid metal ion source for realizing accurate measurement of an emission current and generation of a stable ion beam. SOLUTION: Extraction electrodes of the liquid metal ion source are provided in a vertical double stages...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: SAKAGUCHI KIYOSHI
Format: Patent
Sprache:eng
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