Vacuum pump
A vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, comprises a rotor shaft 16 rotatably supported in a housing 10 by at least one radial bearing 18, 20 and an axial / thrust bearing 44. The axial bearing comprises a yoke 106 connected to the rotor shaft and a first magnetic element 108 connected to...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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