EMPILEMENT DE COUCHES MONOCRISTALLINES POUR LA RÉALISATION DE DISPOSITIFS MICROÉLECTRONIQUES À ARCHITECTURE 3D
Empilement (100) de couches de matériaux monocristallins adapté à la réalisation de dispositifs microélectroniques à architecture 3D comprenant des transistors, incluant plusieurs premières couches (104) de matériau monocristallin, plusieurs deuxièmes couches (106) de matériau monocristallin différe...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | fre |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!