EMPILEMENT DE COUCHES MONOCRISTALLINES POUR LA RÉALISATION DE DISPOSITIFS MICROÉLECTRONIQUES À ARCHITECTURE 3D

Empilement (100) de couches de matériaux monocristallins adapté à la réalisation de dispositifs microélectroniques à architecture 3D comprenant des transistors, incluant plusieurs premières couches (104) de matériau monocristallin, plusieurs deuxièmes couches (106) de matériau monocristallin différe...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BARRAUD, Sylvain, REBOH, Shay
Format: Patent
Sprache:fre
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