Dispositif et procédé de distribution d'une phase gazeuse d'un précurseur solide
L'invention concerne un dispositif de distribution d'une phase gazeuse d'au moins un précurseur solide, ledit dispositif comprenant un récipient (1) destiné à contenir une phase solide (11) dudit précurseur, un premier moyen de chauffage (10) configuré pour chauffer au moins une parti...
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| Format: | Patent |
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| creator | TODOROVA, Vanina DULPHY, Hervé LAURENT, Valere PLAZA, Sonia |
| description | L'invention concerne un dispositif de distribution d'une phase gazeuse d'au moins un précurseur solide, ledit dispositif comprenant un récipient (1) destiné à contenir une phase solide (11) dudit précurseur, un premier moyen de chauffage (10) configuré pour chauffer au moins une partie du récipient (1) et/ou de la phase solide (11) de façon à former une phase gazeuse (12) dudit précurseur dans le récipient (1), des moyens de distribution (13, 14) reliés fluidiquement au récipient (1) et configurés pour distribuer la phase gazeuse (12) depuis le récipient (1) vers un point d'utilisation (60). Selon l'invention, le dispositif comprend une enceinte (2) ayant un volume interne dans lequel sont agencés le récipient (1) et lesdits moyens de distribution (13, 14), ledit dispositif comprenant en outre un deuxième moyen de chauffage (20) configuré pour chauffer au moins une partie du volume interne de l'enceinte (2). Figure de l'abrégé : Fig. 1
Disclosed is a device for dispensing a gas phase of at least one solid precursor, said device comprising a container intended to contain a solid phase of said precursor, a first heating means configured to heat at least one part of the container and/or of the solid phase so as to form a gas phase of said precursor in the container, and dispensing means fluidically connected to the container and configured to dispense the gas phase from the container to a point of use. According to the invention, the device comprises a chamber which has an internal volume within which are the container and said dispensing means, said device also comprising a second heating means configured to heat at least one part of the internal volume of the chamber. |
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Disclosed is a device for dispensing a gas phase of at least one solid precursor, said device comprising a container intended to contain a solid phase of said precursor, a first heating means configured to heat at least one part of the container and/or of the solid phase so as to form a gas phase of said precursor in the container, and dispensing means fluidically connected to the container and configured to dispense the gas phase from the container to a point of use. According to the invention, the device comprises a chamber which has an internal volume within which are the container and said dispensing means, said device also comprising a second heating means configured to heat at least one part of the internal volume of the chamber.</description><language>fre</language><subject>CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY ; CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; METALLURGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL ; SEPARATION ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION ; THEIR RELEVANT APPARATUS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20221209&DB=EPODOC&CC=FR&NR=3123660A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76289</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20221209&DB=EPODOC&CC=FR&NR=3123660A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>TODOROVA, Vanina</creatorcontrib><creatorcontrib>DULPHY, Hervé</creatorcontrib><creatorcontrib>LAURENT, Valere</creatorcontrib><creatorcontrib>PLAZA, Sonia</creatorcontrib><title>Dispositif et procédé de distribution d'une phase gazeuse d'un précurseur solide</title><description>L'invention concerne un dispositif de distribution d'une phase gazeuse d'au moins un précurseur solide, ledit dispositif comprenant un récipient (1) destiné à contenir une phase solide (11) dudit précurseur, un premier moyen de chauffage (10) configuré pour chauffer au moins une partie du récipient (1) et/ou de la phase solide (11) de façon à former une phase gazeuse (12) dudit précurseur dans le récipient (1), des moyens de distribution (13, 14) reliés fluidiquement au récipient (1) et configurés pour distribuer la phase gazeuse (12) depuis le récipient (1) vers un point d'utilisation (60). Selon l'invention, le dispositif comprend une enceinte (2) ayant un volume interne dans lequel sont agencés le récipient (1) et lesdits moyens de distribution (13, 14), ledit dispositif comprenant en outre un deuxième moyen de chauffage (20) configuré pour chauffer au moins une partie du volume interne de l'enceinte (2). Figure de l'abrégé : Fig. 1
Disclosed is a device for dispensing a gas phase of at least one solid precursor, said device comprising a container intended to contain a solid phase of said precursor, a first heating means configured to heat at least one part of the container and/or of the solid phase so as to form a gas phase of said precursor in the container, and dispensing means fluidically connected to the container and configured to dispense the gas phase from the container to a point of use. According to the invention, the device comprises a chamber which has an internal volume within which are the container and said dispensing means, said device also comprising a second heating means configured to heat at least one part of the internal volume of the chamber.</description><subject>CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY</subject><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</subject><subject>CHEMISTRY</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</subject><subject>COATING METALLIC MATERIAL</subject><subject>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</subject><subject>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</subject><subject>METALLURGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL</subject><subject>SEPARATION</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><subject>THEIR RELEVANT APPARATUS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNizEKwjAYRrM4iHqHf3MSrIHuohZndS8x-Wp_KEnInyzeqOfoxazgAZwePN5bqvuZJQbhzB0hU0zBTqObRnIgx5ITP0vm4MltiwfF3gjoZd4oM79uXqbRliQoiSQM7LBWi84Mgs2PK0XN5XG67hBDC4nGwiO3zU1XB13X-2Ol_0g-8EQ5_w</recordid><startdate>20221209</startdate><enddate>20221209</enddate><creator>TODOROVA, Vanina</creator><creator>DULPHY, Hervé</creator><creator>LAURENT, Valere</creator><creator>PLAZA, Sonia</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20221209</creationdate><title>Dispositif et procédé de distribution d'une phase gazeuse d'un précurseur solide</title><author>TODOROVA, Vanina ; DULPHY, Hervé ; LAURENT, Valere ; PLAZA, Sonia</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_FR3123660A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>fre</language><creationdate>2022</creationdate><topic>CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY</topic><topic>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</topic><topic>CHEMISTRY</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</topic><topic>COATING METALLIC MATERIAL</topic><topic>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</topic><topic>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</topic><topic>METALLURGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL</topic><topic>SEPARATION</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</topic><topic>THEIR RELEVANT APPARATUS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>TODOROVA, Vanina</creatorcontrib><creatorcontrib>DULPHY, Hervé</creatorcontrib><creatorcontrib>LAURENT, Valere</creatorcontrib><creatorcontrib>PLAZA, Sonia</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>TODOROVA, Vanina</au><au>DULPHY, Hervé</au><au>LAURENT, Valere</au><au>PLAZA, Sonia</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Dispositif et procédé de distribution d'une phase gazeuse d'un précurseur solide</title><date>2022-12-09</date><risdate>2022</risdate><abstract>L'invention concerne un dispositif de distribution d'une phase gazeuse d'au moins un précurseur solide, ledit dispositif comprenant un récipient (1) destiné à contenir une phase solide (11) dudit précurseur, un premier moyen de chauffage (10) configuré pour chauffer au moins une partie du récipient (1) et/ou de la phase solide (11) de façon à former une phase gazeuse (12) dudit précurseur dans le récipient (1), des moyens de distribution (13, 14) reliés fluidiquement au récipient (1) et configurés pour distribuer la phase gazeuse (12) depuis le récipient (1) vers un point d'utilisation (60). Selon l'invention, le dispositif comprend une enceinte (2) ayant un volume interne dans lequel sont agencés le récipient (1) et lesdits moyens de distribution (13, 14), ledit dispositif comprenant en outre un deuxième moyen de chauffage (20) configuré pour chauffer au moins une partie du volume interne de l'enceinte (2). Figure de l'abrégé : Fig. 1
Disclosed is a device for dispensing a gas phase of at least one solid precursor, said device comprising a container intended to contain a solid phase of said precursor, a first heating means configured to heat at least one part of the container and/or of the solid phase so as to form a gas phase of said precursor in the container, and dispensing means fluidically connected to the container and configured to dispense the gas phase from the container to a point of use. According to the invention, the device comprises a chamber which has an internal volume within which are the container and said dispensing means, said device also comprising a second heating means configured to heat at least one part of the internal volume of the chamber.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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