Procédé pour la fabrication d'une mémoire 3D-NAND

Procédé pour la fabrication d'une mémoire 3D-NAND L'invention se rapporte à un procédé pour la fabrication d'une mémoire 3D-NAND comprenant une première étape d'électrodéposition d'un alliage de cuivre et d'un métal dopant choisi parmi le manganèse et le zinc suivie d&#...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	RAYNAL, Frédéric, MEVELLEC, Vincent, LAKHDARI, Amine, THIAM, Mikailou
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	APPARATUS THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROFORMING ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES METALLURGY PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS SEMICONDUCTOR DEVICES
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