Capteur d'images à éclairement par la face arrière

Capteur d'images à éclairement par la face arrière La présente description concerne un procédé de fabrication d'un capteur d'images, comportant les étapes successives suivantes : a) réaliser une structure comportant une couche semiconductrice (101) et un mur d'isolation capacitif (105) s'étendant verticalement de la face avant à la face arrière de la couche semiconductrice et comprenant des première (105a) et deuxième (105b) parois isolantes séparées par une région (105c) en un matériau conducteur ou semiconducteur ; b) graver, depuis la face arrière, une partie de l'épaisseur de la couche semiconductrice (101) et de ladite région (105c) de façon sélective par rapport aux parois isolantes (105a, 105b) ; c) déposer une couche diélectrique de passivation (107) sur la face arrière de la structure ; et d) retirer localement la couche de passivation (107) en vis-à-vis des parois isolantes (105a, 105b). Figure pour l'abrégé : Fig. 10 Image sensors and methods of manufacturing image sensors are provided. One such method includes forming a structure that includes a semiconductor layer extending from a front side to a back side, and a capacitive insulation wall extending through the semiconductor layer. The capacitive insulation wall includes first and second insulating walls separated by a region of a conductor or a semiconductor material. Portions of the semiconductor layer and the region of the conductor or semiconductor material are selectively etched, and the first and second insulating walls have portions protruding outwardly beyond a back side of the semiconductor layer and of the region of the conductor or semiconductor material. A dielectric passivation layer is deposited on the back side of the structure, and portions of the dielectric passivation layer are locally removed on a back side of the protruding portions of the first and second insulating walls.