Procédé de réalisation d'une structure micromécanique de couches et structure obtenue

Titre : Procédé de réalisation d'une structure micromécanique de couches et structure obtenue Procédé de réalisation d'une structure micromécanique (10) consistant à structurer une première couche protectrice (3), avec un accès (100) rempli de matière sacrificielle. On applique une struct...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Majoni, Stefan
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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