PROCEDES ET SYSTEMES DE FONCTIONNALISATION OPTIQUE D'UN ECHANTILLON EN MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR
Selon un aspect, l'invention concerne un système (100) pour la fonctionnalisation optique en profondeur d'un échantillon (10) en matériau semi-conducteur, comprenant : - une source d'émission (20) d'un faisceau laser formé d'impulsions de durées effectives comprises entre 1...
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Format: | Patent |
Sprache: | fre |
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