DISPOSITIF POUR GENERER UN PLASMA PRESENTANT UNE ETENDUE IMPORTANTE LE LONG D'UN AXE PAR RESONNANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE RCE A PARTIR D'UN MILIEU GAZEUX

Le dispositif comporte au moins deux guides d'onde coaxiaux (4) constitués chacun d'un conducteur central (1) et d'un conducteur extérieur (2) pour amener des micro-ondes dans une chambre de traitement, caractérisé en ce qu'au moins les deux guides d'injection d'ondes é...

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Hauptverfasser: SCHMIDT BEAT, HEAU CHRISTOPHE CHARLES JEAN, MAURIN PERRIER PHILIPPE GEORGES CHARLES
Format: Patent
Sprache:fre
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creator SCHMIDT BEAT
HEAU CHRISTOPHE CHARLES JEAN
MAURIN PERRIER PHILIPPE GEORGES CHARLES
description Le dispositif comporte au moins deux guides d'onde coaxiaux (4) constitués chacun d'un conducteur central (1) et d'un conducteur extérieur (2) pour amener des micro-ondes dans une chambre de traitement, caractérisé en ce qu'au moins les deux guides d'injection d'ondes électromagnétique (4) sont combinés avec un circuit magnétique (21-22) allongé dans une direction, ledit circuit magnétique entourant les guides d'onde (4) en créant un champ magnétique apte à réaliser une condition de RCE à proximité desdits guides d'onde. The device includes at least two coaxial waveguides each formed of a central conductor and of an external conductor to bring microwaves into a treatment chamber. The at least two electromagnetic wave injection guides are combined with a magnetic circuit elongated in one direction. The magnetic circuit surrounding the waveguides by creating a magnetic field capable of achieving an ECR condition close to the waveguides.
format Patent
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The device includes at least two coaxial waveguides each formed of a central conductor and of an external conductor to bring microwaves into a treatment chamber. The at least two electromagnetic wave injection guides are combined with a magnetic circuit elongated in one direction. 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The device includes at least two coaxial waveguides each formed of a central conductor and of an external conductor to bring microwaves into a treatment chamber. The at least two electromagnetic wave injection guides are combined with a magnetic circuit elongated in one direction. 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