PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COUCHES A BASE DE LITHIUM PAR CVD
La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium selon lequel le précurseur de lithium est contenu dans un mélange liquide comprenant une base de Lewis. A method for forming by CVD a lithium-based layer, according to which the lithium precursor is...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium selon lequel le précurseur de lithium est contenu dans un mélange liquide comprenant une base de Lewis.
A method for forming by CVD a lithium-based layer, according to which the lithium precursor is in liquid form in a mixture containing a solvent and a Lewis base. |
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