PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COUCHES A BASE DE LITHIUM PAR CVD

La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium selon lequel le précurseur de lithium est contenu dans un mélange liquide comprenant une base de Lewis. A method for forming by CVD a lithium-based layer, according to which the lithium precursor is...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JIMENEZ AREVALO MARIA DEL CARMEN, JODIN LUCIE, ACHATZ PHILIPP, DECAMS JEAN-MANUEL, DESCHANVRES JEAN-LUC, POULET SYLVAIN
Format: Patent
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:La présente invention concerne un procédé de réalisation par CVD d'une couche à base de lithium selon lequel le précurseur de lithium est contenu dans un mélange liquide comprenant une base de Lewis. A method for forming by CVD a lithium-based layer, according to which the lithium precursor is in liquid form in a mixture containing a solvent and a Lewis base.