MICROSYSTEME A FONCTION MICROELECTRIQUE ET MICROFLUIDIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

La présente invention concerne un microsystème comprenant à la fois une fonction microélectronique et une fonction microfluidique, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel système, trouvant notamment une application aux microsystèmes dédiés à l'analyse biologique, tels que les labo...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BOCQUET BERTRAND, TREIZEBRE ANTHONY, LAURETTE SIMON
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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