MICROSYSTEME A FONCTION MICROELECTRIQUE ET MICROFLUIDIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

La présente invention concerne un microsystème comprenant à la fois une fonction microélectronique et une fonction microfluidique, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel système, trouvant notamment une application aux microsystèmes dédiés à l'analyse biologique, tels que les labo...

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Hauptverfasser: BOCQUET BERTRAND, TREIZEBRE ANTHONY, LAURETTE SIMON
Format: Patent
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creator BOCQUET BERTRAND
TREIZEBRE ANTHONY
LAURETTE SIMON
description La présente invention concerne un microsystème comprenant à la fois une fonction microélectronique et une fonction microfluidique, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel système, trouvant notamment une application aux microsystèmes dédiés à l'analyse biologique, tels que les laboratoires sur puce (« lab on chip »), les puces à cellules (« cell-based array ») ou puces à ADN ou protéines (« microarray »). Le procédé comprend une étape de création, sur un premier substrat, d'un circuit microélectronique apte à mettre en œuvre la fonction microélectronique, et une étape de création, dans un deuxième substrat, d'une structure microfluidique apte à mettre en œuvre la fonction microfluidique. En outre, le procédé comprend une étape de report du deuxième substrat sur le circuit électronique et le premier substrat, et l'étape de création de la structure microfluidique est mise en œuvre après cette étape de report du deuxième substrat sur le circuit électronique et le premier substrat. Ainsi, le procédé de l'invention permet de s'affranchir des problèmes liés à l'assemblage d'une structure microfluidique préalablement réalisée, avec une structure microélectronique préalablement réalisée, en termes de coût de fabrication, mais également de résolution spatiale. En effet, l'assemblage est mis en œuvre avant réalisation de la structure microfluidique, par report du deuxième substrat qui sert de base à la structure microfluidique, sur la structure microélectronique. Le procédé de l'invention permet ainsi de créer des structures microfluidiques complexes, assemblées avec des structures micro-électroniques complexes.
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Le procédé comprend une étape de création, sur un premier substrat, d'un circuit microélectronique apte à mettre en œuvre la fonction microélectronique, et une étape de création, dans un deuxième substrat, d'une structure microfluidique apte à mettre en œuvre la fonction microfluidique. En outre, le procédé comprend une étape de report du deuxième substrat sur le circuit électronique et le premier substrat, et l'étape de création de la structure microfluidique est mise en œuvre après cette étape de report du deuxième substrat sur le circuit électronique et le premier substrat. Ainsi, le procédé de l'invention permet de s'affranchir des problèmes liés à l'assemblage d'une structure microfluidique préalablement réalisée, avec une structure microélectronique préalablement réalisée, en termes de coût de fabrication, mais également de résolution spatiale. En effet, l'assemblage est mis en œuvre avant réalisation de la structure microfluidique, par report du deuxième substrat qui sert de base à la structure microfluidique, sur la structure microélectronique. 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En effet, l'assemblage est mis en œuvre avant réalisation de la structure microfluidique, par report du deuxième substrat qui sert de base à la structure microfluidique, sur la structure microélectronique. 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Le procédé comprend une étape de création, sur un premier substrat, d'un circuit microélectronique apte à mettre en œuvre la fonction microélectronique, et une étape de création, dans un deuxième substrat, d'une structure microfluidique apte à mettre en œuvre la fonction microfluidique. En outre, le procédé comprend une étape de report du deuxième substrat sur le circuit électronique et le premier substrat, et l'étape de création de la structure microfluidique est mise en œuvre après cette étape de report du deuxième substrat sur le circuit électronique et le premier substrat. Ainsi, le procédé de l'invention permet de s'affranchir des problèmes liés à l'assemblage d'une structure microfluidique préalablement réalisée, avec une structure microélectronique préalablement réalisée, en termes de coût de fabrication, mais également de résolution spatiale. 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