Dado de SMEM con estructuras sensibles

Un sistema microelectromecánico que se troquela 12 incluye un sustrato conductor térmico 16 que incluye una superficie exterior, una pluralidad de estructuras de detección de baja masa 18 dispuestas dentro del sustrato conductor térmico 16 para formar una pluralidad de espacios entre estructuras 20...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	POTASEK, David P, CHRISTENSON, John Carl, CHILDRESS, Marcus Allen
Format:	Patent
Sprache:	spa
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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