CONSEJO Y PROCEDIMIENTO PARA DETECTAR EL DESPLAZAMIENTO DE UNA PLURALIDAD DE ELEMENTOS MICRO Y NANOMECANICOS, COMO LOS MICROVOLADIZOS. SP

Un sistema para detectar el desplazamiento, como la deflexión o inclinación, de una pluralidad de elementos (1) que forman parte de una formación (2), comprendiendo dicho sistema: una fuente (3) de luz dispuesta para emitir un haz (4) de luz hacia la formación (2); un detector (5) óptico de posición...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TAMAYO DE MIGUEL, FRANCISCO JAVIER, LECHUGA GOMEZ, LAURA M, ALVAREZ SANCHEZ, MAR
Format:	Patent
Sprache:	spa
Schlagworte:	APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM] MEASURING PHYSICS SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS TESTING
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