PIEZOELECTRIC DEVICE
A piezoelectric device includes a substrate (10) on which a plurality of recesses (12) are arranged in a first direction, a vibration plate (50), and a piezoelectric actuator (300) having a first electrode (61), a second electrode (62) and a third electrode (63), a fourth electrode (80), and a piezo...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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