METHOD FOR PRODUCING A SINGLE CRYSTAL MADE OF SILICON

Verfahren zum Herstellen eines Einkristalls aus Silicium, umfassend: den Einbau eines Vorratsstabes aus Silicium in eine Vorrichtung zum Zonen-ziehen, wobei der Vorratsstab einen Durchmesser von nicht weniger als 230 mm und nicht mehr als 270 mm aufweist, den Einbau eines ersten Hohlzylinders mit ei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Surovovs, Maksims, Ratnieks, Gundars, Sattler, Andreas, Häckl, Walter, Virbulis, Janis
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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