METHOD FOR PRODUCING A SINGLE CRYSTAL MADE OF SILICON
Verfahren zum Herstellen eines Einkristalls aus Silicium, umfassend: den Einbau eines Vorratsstabes aus Silicium in eine Vorrichtung zum Zonen-ziehen, wobei der Vorratsstab einen Durchmesser von nicht weniger als 230 mm und nicht mehr als 270 mm aufweist, den Einbau eines ersten Hohlzylinders mit ei...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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