METHOD FOR TRANSFERRING A THIN LAYER WITH THE HELP OF A LOADED PRE-CERAMIC POLYMER
A method for transferring, from a donor substrate to a carrier substrate, a thin layer having a first coefficient of thermal expansion. This method comprises: -forming an embrittlement plane in the donor substrate; -forming an electrically insulating layer on the surface of the donor substrate and/o...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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