SLOT-DIE COATING METHOD AND APPARATUS
A slot-die coating apparatus for manufacturing a patterned coating layer (3) on a substrate (1) comprises a substrate carrier (6), a coating device, a sensor facility (70) and a controller (80). The substrate carrier (6) is arranged on a support for providing the substrate (1). The coating device co...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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