SURFACE ACOUSTIC WAVE ATOMIZER

There is provided a surface acoustic wave atomizer which can guide a liquid to an atomizing area on a substrate surface stably at a constant quantity per unit time and can limit a distribution of the liquid on the substrate surface, so that a stable and efficient atomization and a deterioration cont...

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1. Verfasser: ISHIGAMI, YOUHEI
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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