Micromechanical component with reduced wear

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	VON GUNTEN, STÉPHANE, DR.- GLUCHE, PETER, FLÖTER, ANDRÉ, GRETZSCHEL, RALPH
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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