FILM-FORMING COMPOSITION AND DIFFUSING METHOD

A film-forming composition for use in a coating diffusion method, capable of diffusing a dopant at a higher concentration, and further capable of concomitantly forming a silica-based coating film is provided. A film-forming composition for constituting a diffusion film provided for diffusing a dopan...

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1. Verfasser: MORITA, TOSHIRO
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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