MEASURING ELASTIC MODULUS OF DIELECTRIC THIN FILMS USING AN OPTICAL METROLOGY SYSTEM

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ANTONELLI, GEORGE, A, LUDKE, JAMIE L, KOTELYANSKII, MICHAEL, ZHENG, TONG, MILLER, ANDRE, D, LEARY, SEAN P, TAS, GURAY, MORATH, CHRISTOPHER, J, LAZAROV, GUENADIY
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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