Hybrid resonant structure

A structure has a piezoelectric transducer (14) on a substrate (12) and comprising two conductive electrodes (16, 20) separated by a piezoelectric material layer (18), where the thickness (e18) of the layer is given by a specified relation. An additional layer (22) is placed on the surface of the el...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Steichen, William, Masson, Jérémy, Ballandras, Sylvain, Jean
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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