Hybrid resonant structure
A structure has a piezoelectric transducer (14) on a substrate (12) and comprising two conductive electrodes (16, 20) separated by a piezoelectric material layer (18), where the thickness (e18) of the layer is given by a specified relation. An additional layer (22) is placed on the surface of the el...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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