ACTUATOR ARRANGEMENT FOR ACTIVE VIBRATION ISOLATION COMPRISING AN INERTIAL REFERENCE MASS
Actuator arrangement with an actuator (8), a reference mass (22), a spring (24) and a first sensor (26; 42, 43; 32, 36). The actuator (8) applies a force between a first object (2) relative to a second object (16; 54). The reference mass (22) is, in use, supported by a third object (16; 56) by means...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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