MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEM SWITCH
A micro electromechanical system (MEMS) switch includes a fixed contact (24) and a moveable contact (35) on an armature (30). The switch has electrodes (22, 34) associated with both the fixed and moveable contacts for providing an electrostatic switch operation and piezoelectric material with associ...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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