PHOTODETECTOR CIRCUITS
A photodetector circuit incorporates an APD detector structure ( 10 ) comprising a p- silicon handle wafer ( 12 ) on which a SiO2 insulation layer ( 14 ) is deposited in known manner. During manufacture a circular opening ( 16 ) is formed through the insulation layer ( 14 ) by conventional photolith...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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