LOW STRESS DIE ATTACHMENT

An accelerometer (305) for measuring seismic data. The accelerometer (305) includes an integrated vent hole for use during a vacuum sealing process and a balanced metal pattern for reducing cap wafer bowing. The accelerometer (305) also includes a top cap press frame recess (405) and a bottom cap pr...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GOLDBERG, HOWARD, D, SELVAKUMAR, ARJUN, STALNAKER, W, MARC, YU, DULI, MARSH, JAMES, L
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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