F2 laser with visible red and IR control
A reliable, modular, production quality F2 excimer laser capable of producing, at repetition rates in the range of 1,000 to 2,000 Hz or greater, laser pulses with pulse energies greater than 10 mJ with a full width half, maximum bandwidth of about 1 pm or less at wavelength in the range of 157 nm. L...
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Format: | Patent |
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