Monolithic integrated device of PIN diode and field effect transistor and method of manufacturing the same
Die Erfindung betrifft eine integrierte Anordnung einer lateralen PIN-Diode und eines HFET oder MESFET. Die Schichtenfolge des Feldeffekttransistors besitzt eine derart geringe Schichtdicke, daß PIN-Diode und Feldeffekttransistor quasi planar angeordnet sind. Die FET-Schichtenfolge enthält eine LTG-...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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