Monolithic integrated device of PIN diode and field effect transistor and method of manufacturing the same

Die Erfindung betrifft eine integrierte Anordnung einer lateralen PIN-Diode und eines HFET oder MESFET. Die Schichtenfolge des Feldeffekttransistors besitzt eine derart geringe Schichtdicke, daß PIN-Diode und Feldeffekttransistor quasi planar angeordnet sind. Die FET-Schichtenfolge enthält eine LTG-...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: BRUGGER, HANS
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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