Modulated spectroscopic ellipsometer

The ellipsometer is modulated at a frequency (ωm) and is designed to measure a sample (3). The meter is equipped with an electronic processor (14), which supplies the ellipsometric parameters, and an external exciter (16) to excite the sample. The processor receives signals from a photodetector (13). The spectroscopic ellipsometer is phase modulated and the excitation unit produces an alternating and periodic excitation at a frequency(Ωe), a reference of which is addressed to the electronic processor. The measurement contains the values of the ellipsometric parameters(ψ,Δ) of the sample in the presence (ω1,Δ1) and absence(ω2,Δ2) respectively of exterior excitation of the sample as a function of the excitation frequency. La présente invention concerne un ellipsomètre spectroscopique modulé à une fréquence (ωm) destiné à la mesure d'un échantillon (3). L'ellipsomètre spectroscopique est à modulation de phase, des moyens (16) d'excitation extérieure de l'échantillon produisent une excitation (30) alternative, périodique, de fréquence (Ωe) et la mesure contient les valeurs des paramètres ellipsométriques (ψ, Δ) de l'échantillon, respectivement en présence (ψ1, Δ1) et en absence (ψ2, Δ2) d'excitation de l'échantillon, en fonction de la fréquence (Ωe) d'excitation.