Sensor for determining the gas concentration in a gas mixture by measuring the reaction heat

Die Beschreibung betrifft einen Sensor zur Bestimmung der Gaskonzentration in einem Gasgemisch durch Messung der Wärmetönung bei der Oxydation brennbarer Gase. Der Sensor besteht aus Dünnfilmwiderständen (3a, 3b), die auf einer elektrisch und thermisch isolierenden Schicht (2a) aufgetragen sind. Eine Trägerplatte (1) aus Silizium ist im Bereich der Dünnfilmwiderstände durch Ätzen freitragend ausgebildet, so daß diese von der Trägerplatte (1) isoliert sind (Fig. 1). A sensor is described for determining the gas concentration in a gas mixture by measuring the reaction heat in the oxidation of combustible gases. The sensor consists of thin-film resistors (3a, 3b) which are applied to an electrically and thermally insulating layer (2a). A silicon baseplate (1) of self-supporting construction is formed by etching in the vicinity of the thin-film resistors so that they are insulated from the baseplate (1) (Figure 1).