SELF CONTAINED SURFACE CONTAMINATION SENSOR

Une matière contaminante, soit sous la forme d'une matière particulaire (46), par exemple de la poussière et un liquide non-mouillant, soit des discontinuités de surface (48) telles qu'une pellicule lisse ou une cratérisation, est récupérée sur une plaque de verre exposée (12). L'éclairage suivant un angle incident par rapport à une surface (14) de la plaque de verre agit sur la matière particulaire qui disperse la lumière. Une autre source de lumière éclaire le volume intérieur du verre provoquant la dispersion de la lumière des discontinuités de surface. L'une ou l'autre des sources de dispersion de lumière est détectée par un détecteur optiquement sensible (18) placé sous la plaque de verre. Un filtre à bande passante (24) placé entre la plaque de verre et le détecteur rejète le rayonnement parasite. Contamination, either in the form of particulate matter (46), e.g., dust and non-wetting liquid, or surface discontinuities (48), such as a smooth film or cratering, is collected on an explosed glass plate (12). Illumination at an angle incident with respect to a surface (14) of the glass plate causes the particulate matter to scatter light. A further light source illuminates the inside volume of the glass, causing light to scatter from the surface discontinuities. Either source of light scattering is detected by an optically sensitive detector (18) positioned beneath the glass plate. A bandpass filter (24) between the glass plate and the detector rejects spurious radiation.