FOCUSED ION BEAM COLUMN

Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le fai...

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Hauptverfasser: MCKENNA, CHARLES, M, CLARK, WILLIAM, M., JR, SELIGER, ROBERT, L
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator MCKENNA, CHARLES, M
CLARK, WILLIAM, M., JR
SELIGER, ROBERT, L
description Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le faisceau d'espèces d'ions sélectionnées et réduit l'image pour produire un point d'écriture ionique d'une dimension inférieure à d'environ 1000 Ao.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_EP0155283A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>EP0155283A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_EP0155283A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZBB383cODXZ1UfD091NwcnX0VXD29wn19eNhYE1LzClO5YXS3AwKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfGuAQaGpqZGFsaOhsZEKAEAggQeyA</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>FOCUSED ION BEAM COLUMN</title><source>esp@cenet</source><creator>MCKENNA, CHARLES, M ; CLARK, WILLIAM, M., JR ; SELIGER, ROBERT, L</creator><creatorcontrib>MCKENNA, CHARLES, M ; CLARK, WILLIAM, M., JR ; SELIGER, ROBERT, L</creatorcontrib><description>Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le faisceau d'espèces d'ions sélectionnées et réduit l'image pour produire un point d'écriture ionique d'une dimension inférieure à d'environ 1000 Ao.</description><edition>4</edition><language>eng ; fre ; ger</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>1985</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=19850925&amp;DB=EPODOC&amp;CC=EP&amp;NR=0155283A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,778,883,25547,76298</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=19850925&amp;DB=EPODOC&amp;CC=EP&amp;NR=0155283A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>MCKENNA, CHARLES, M</creatorcontrib><creatorcontrib>CLARK, WILLIAM, M., JR</creatorcontrib><creatorcontrib>SELIGER, ROBERT, L</creatorcontrib><title>FOCUSED ION BEAM COLUMN</title><description>Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le faisceau d'espèces d'ions sélectionnées et réduit l'image pour produire un point d'écriture ionique d'une dimension inférieure à d'environ 1000 Ao.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>1985</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZBB383cODXZ1UfD091NwcnX0VXD29wn19eNhYE1LzClO5YXS3AwKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfGuAQaGpqZGFsaOhsZEKAEAggQeyA</recordid><startdate>19850925</startdate><enddate>19850925</enddate><creator>MCKENNA, CHARLES, M</creator><creator>CLARK, WILLIAM, M., JR</creator><creator>SELIGER, ROBERT, L</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>19850925</creationdate><title>FOCUSED ION BEAM COLUMN</title><author>MCKENNA, CHARLES, M ; CLARK, WILLIAM, M., JR ; SELIGER, ROBERT, L</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_EP0155283A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>1985</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>MCKENNA, CHARLES, M</creatorcontrib><creatorcontrib>CLARK, WILLIAM, M., JR</creatorcontrib><creatorcontrib>SELIGER, ROBERT, L</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>MCKENNA, CHARLES, M</au><au>CLARK, WILLIAM, M., JR</au><au>SELIGER, ROBERT, L</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>FOCUSED ION BEAM COLUMN</title><date>1985-09-25</date><risdate>1985</risdate><abstract>Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le faisceau d'espèces d'ions sélectionnées et réduit l'image pour produire un point d'écriture ionique d'une dimension inférieure à d'environ 1000 Ao.</abstract><edition>4</edition><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language eng ; fre ; ger
recordid cdi_epo_espacenet_EP0155283A1
source esp@cenet
subjects BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
title FOCUSED ION BEAM COLUMN
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-16T13%3A34%3A14IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=MCKENNA,%20CHARLES,%20M&rft.date=1985-09-25&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EEP0155283A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true