FOCUSED ION BEAM COLUMN
Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le fai...
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description | Une colonne à faisceau ionique focalisé (10) à deux lentilles possède une lentille accélératrice (20) soumise à un potentiel pour focaliser une image non agrandie de la source (14) d'ions de métal liquide sur la fente de l'analyseur de masse (26). Une lentille de Munro (36) accélère le faisceau d'espèces d'ions sélectionnées et réduit l'image pour produire un point d'écriture ionique d'une dimension inférieure à d'environ 1000 Ao. |
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