EMISSION-ELECTRON MICROSCOPE

Un microscope a emission d'electrons comprend une chambre sous vide (70) avec un aimant superconducteur (73) a une extremite generant une region de tres grande intensite de champ. Dans cette region, un specimen est monte et la surface du specimen est irradiee avec des photons, d'une maniere caracteristique des rayons X ou des rayons ultraviolets durs, a partir d'une source (75). Il en resulte que le specimen emet des photo-electrons. Le champ magnetique est axialement symetrique suivant la longueur de la chambre (70) et emet des electrons en spirale autour des lignes de force se deplacant en bas de la chambre dans une region de faible champ magnetique controle par des bobines d'electro-aimant (81). L'energie cinetique transversale des electrons est convertie en une energie le long des lignes de force du champ magnetique et la divergence des lignes du champ magnetique fait que les electrons produisent sur un detecteur (79) une image electronique agrandie indiquant la distribution du flux d'electrons sur la region en surface du specimen. Les electrons d'emission peuvent etre produits par d'autres methodes de stimulation, par exemple des atomes neutres ou de la chaleur (electrons thermiques) et des dispositifs peuvent etre prevus pour ne permettre qu'aux electrons possedans une energie predeterminee d'atteindre le detecteur. PCT No. PCT/GB82/00008 Sec. 371 Date Sep. 13, 1982 Sec. 102(e) Date Sep. 13, 1982 PCT Filed Jan. 15, 1982 PCT Pub. No. WO82/02624 PCT Pub. Date Aug. 5, 1982.An emission-electron microscope comprises an evacuated chamber with a superconducting magnet at one end generating a region of very high field strength. In this region a specimen is mounted and the surface of the specimen is irradiated with photons, typically x-ray or hard ultra-violet, from a source. As a result the specimen emits photo-electrons. The magnetic field is axially symmetrical along the length of the chamber and emitted electrons spiral about the lines of force traveling down the chamber into a region of lower magnetic field controlled by electro-magnet coils. Transverse kinetic energy of the electrons is converted into energy along the lines of force of the magnetic field and the divergence of the magnetic field lines causes electrons to produce on a detector an expanded electron image indicative of the distribution of electron flux across the surface region of the specimen. The emission-electrons may be produced by other stimulation methods, for example neutral atoms or