VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON VERBINDUNGEN ZWISCHEN KANÄLEN UND RÄUMEN
A method of forming interconnections between channels and/or chambers for use in a micro-fluidic device. Two planer substrates (usually glass and silicon respectively) having etched channels are bonded together to form volmes where the channels overlap. A manifolding cut is then made through the gla...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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