VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

A dual resistive heater system includes a base or primary heater (120A), surrounded by a peripheral or edge heater (120B). Both resistive heaters deliver heat to a heated block, and the heaters and heated block are substantially enclosed within an insulated cavity (130A-H). The walls of the insulate...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JOHNSGARD, KRISTIAN E, GIVENS, JAMES A, SAVAS, STEPHEN E, DAVIET, JEAN-FRANCOIS, ATANOS, J, MATTSON, S
Format: Patent
Sprache:ger
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