VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN
A dual resistive heater system includes a base or primary heater (120A), surrounded by a peripheral or edge heater (120B). Both resistive heaters deliver heat to a heated block, and the heaters and heated block are substantially enclosed within an insulated cavity (130A-H). The walls of the insulate...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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